氦質(zhì)譜檢漏儀的性能指標(biāo)及工作原理
2020.06.29
氦質(zhì)譜檢漏儀原理: 氦質(zhì)譜檢漏儀是基于質(zhì)譜法原理，以氦氣作為檢漏儀器。 質(zhì)譜儀由離子源、分析儀、收集器、冷陰電離計(jì)、氣體萃取系統(tǒng)和電氣部分組成。 質(zhì)譜法室中燈絲發(fā)射的電子在室內(nèi)來(lái)回振蕩，與室內(nèi)氣體碰撞，氦氣泄漏進(jìn)入室內(nèi)，電離成正離子，正離子在加速電場(chǎng)的作用下進(jìn)入人體磁場(chǎng)，當(dāng)洛倫茲力效應(yīng)偏轉(zhuǎn)時(shí)，電弧形成，加速電壓的變化使不同質(zhì)量的離子通過(guò)磁場(chǎng)和接收槽到達(dá)接收而被探測(cè)到。 氦氣噴射法和氦氣吸收法是電阻爐氦質(zhì)譜檢漏儀常用的兩種檢漏方法。
氦質(zhì)譜檢漏方法是基于氦質(zhì)譜檢漏儀的氦分壓測(cè)量原理。 當(dāng)樣品的密封面發(fā)生泄漏時(shí)，氦和其他元件的泄漏氣體會(huì)從泄漏孔中泄漏出來(lái)。 當(dāng)泄漏氣體進(jìn)入氦質(zhì)譜泄漏檢測(cè)器后，由于氦質(zhì)譜泄漏檢測(cè)器具有選擇性識(shí)別能力，因此只給出氣體中氦的分壓信號(hào)。 在獲得氦氣信號(hào)值的基礎(chǔ)上，通過(guò)標(biāo)準(zhǔn)的泄漏量比較，可以得到氦氣的泄漏量。
根據(jù)氦氣儲(chǔ)氣庫(kù)位置與樣品的不同關(guān)系，氦質(zhì)譜法檢漏方法可分為真空法、正壓法、真空壓力法和反壓法，總結(jié)了這4種氦質(zhì)譜法檢漏方法的檢測(cè)原理、優(yōu)缺點(diǎn)和檢測(cè)標(biāo)準(zhǔn)。
得到氦質(zhì)譜檢漏器的主要性能指標(biāo)
1.較小檢漏率: 即氦質(zhì)譜檢漏器能檢測(cè)到的較小泄漏率。
2.響應(yīng)清除時(shí)間: 當(dāng)一定流量的勘探氣體進(jìn)入氦質(zhì)譜檢漏儀后，電子系統(tǒng)和真空系統(tǒng)需要一定的響應(yīng)時(shí)間，漏率指示器可以達(dá)到較大值，漏率指示器不能立即恢復(fù)到零，需要一定時(shí)間下降，通常由于氦的吸附和解吸，去除時(shí)間略長(zhǎng)于響應(yīng)時(shí)間。
3.啟動(dòng)時(shí)間: 氦質(zhì)譜泄漏探測(cè)器開啟電源和能夠探測(cè)到泄漏之間的時(shí)間。
